ΕE1: Προδιαγραφές
(1)Απαιτήσεις και προδιαγραφές τελικών πρωτότυπων σε τρία διαφορετικά επίπεδα (στοιχείο,υποσύστημα,σύστημα); (2)Καθορισμός μεθόδων δοκιμών και δειγμάτων για τον χαρακτηρισμό και την επαλήθευση των υλικών, των συστατικών στοιχείων, των υποσυστημάτων και των πρωτότυπων;
( Υποενότητα)
ΥΕΕ1.1: Προδιαγραφές πρωτότυπων & Καθορισμός μεθόδων και δειγμάτων δοκιμών
ΥΕΕ1.2:Οδικός χάρτης διατάξεων και υλικών
ΥΕΕ1.3:Οδικός χάρτης 2D & 3D ολοκλήρωσης
ΕE2:Σχεδιασμός και Μοντελοποίηση
Σχεδιασμός (1)Επιταξιακών δομών; (2)HPA & LNA; (3)RFMEMS; (4)SAW; (5)TEC ψύκτη; (6)Interposer πυριτίου. Ανάλογα με τη λειτουργία του κάθε στοιχείου θα εκπονηθεί ανάλογη μοντελοποίηση (θερμική,μηχανική,ηλεκτρική,μικροκυματική,ηλεκτρομαγνητική). Διάχυση αποτελεσμάτων ΕΕ2.
( Υποενότητα)
ΥΕΕ2.1:Επιταξικές Δομές
ΥΕΕ2.2:Σχεδιαστική βιβλιοθήκη για HPA & LNA
ΥΕΕ2.3:Σχεδιασμός διακοπτών RFMEMS
ΥΕΕ2.4:Σχεδιασμός του ακουστικού αισθητήρα θερμοκρασίας
ΥΕΕ2.5:Σχεδιασμός θερμοηλεκτρικού ψύκτη
ΥΕΕ2.6:Σχεδιασμός του interposer πυριτίου
ΥΕΕ2.7:Διάχυση αποτελεσμάτων
ΕE3:Τεχνολογικά Πρωτόκολλα
(1)Ανάπτυξη ημιαγωγικών, διηλεκτρικών και θερμοηλεκτρικών υλικών; (2)Κατασκευή ενεργητικών και παθητικών στοιχείων; (3)Κατασκευή θερμοηλεκτρικού ψύκτη; (4) Ανάπτυξη πλατφόρμας AlN διαχείρισης θερμότητας; (5)Ανάπτυξη τεχνολογίας μονολιθικής 2D και 3D ολοκλήρωσης; (6)Χαρακτηρισμός υλικών, στοιχείων και ολοκληρωμένων υποσυστημάτων; (7) Διάχυση και αξιοποίηση αποτελεσμάτων της ΕΕ3.
( Υποενότητα)
ΥΕΕ3.1:Υλικά (ΙΙΙ-ΝΙΤΡΙΔΙΑ ΔΙΗΛΕΚΤΡΙΚΑ ΥΛΙΚΑ ΘΕΡΜΙΚΗΣ ΔΙΑΣΥΝΔΕΣΗΣ ΘΕΡΜΟΗΛΕΚΤΡΙΚΑ ΥΛΙΚΑ για ΨΥΞΗ (TEC)
ΥΕΕ3.2:Ενεργά και Παθητικά στοιχεία, αισθητήρες και 2D ολοκλήρωση.
ΥΕΕ3.3:Ενεργός Θερμοηλεκτρικός Ψύκτης
ΥΕΕ3.4:AlN πλατφόρμα διαχείρισης θερμότητας
ΥΕΕ3.5:Τεχνολογία 3D ολοκλήρωσης διατάξεων
ΥΕΕ3.6:Διάχυση και Αξιοποίηση αποτελεσμάτων
ΕE4:Πρωτότυπα έργου Σχεδιασμός, κατασκευή και αξιολόγηση των δύο πρωτότυπων του έργου. Η δόμηση της ΕΕ4 επιτρέπει την υλοποίηση δύο κατασκευαστικών κύκλων εάν αυτό κριθεί απαραίτητο. Διάχυση και αξιοποίηση αποτελεσμάτων της ΕΕ4.
( Υποενότητα)
ΥΕΕ4.1:Σχεδιασμός πρωτότυπων
ΥΕΕ4.2:Κατασκευή πρωτότυπων
ΥΕΕ4.3:Χαρακτηρισμός πρωτότυπων
ΥΕΕ4.4:Συγκριτική αξιολόγηση (benchmarking) πρωτότυπων και δράσεις διάχυσης και αξιοποίησης αποτελεσμάτων